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Wed, 14 Aug 2024 12:18:38 +0000
A. は露光光学系の開口数です。 これまでも様々な技術開発により、kを小さくしたりλを小さくしたりNAを大きくすることで、微細化を実現してきています。 EUV露光装置は、露光波長の短波長化によりこれまでの限界を突破できる技術とされ、近年量産化がされています。 半導体露光装置の価格について 半導体露光装置は、現在半導体を効率的に量産するのに欠かすことのできない装置ですが、史上最も精密な機械といわれており、価格は高価になります。 半導体露光装置で利用する光源波長が短いほど、微細なパターンが形成できる上、露光装置の価格も高くなるとされています。波長ごとに、i線が約4億円、KrFが約13億円、ArFドライが約20億円、ArF液浸が約60億円、EUVが約200憶円規模といわれています。 回路が微細になればなるほど信号伝達の高速化や省エネ化などを図ることができますが、近年半導体露光装置の価格も含め微細化によるプロセスコストの増大が無視できなくなってきています。 また半導体露光装置に求められる性能として、半導体製造するコスト面から半導体露光装置のスループットも重要な指標になります。スループットとは、どれだけ高速に回路パターンを露光できるかを示す性能で、スループットが上昇するとシリコンダイ1枚当たりの製造コスト(ランニングコスト)が下がるためです。半導体チップの量産時に重要視されます。 参考文献

Asmlホールディング【Asml】半導体露光装置で圧倒的シェアでEuvに期待

露光装置のニコンが新たにランクイン ビジネス > テクノロジー 2020. 03. 24 00:00 19年の業界首位を堅持した米アプライドマテリアルズ 半導体産業の調査会社VLSIリサーチ(米カリフォルニア州、日本窓口=㈱テクノロジー・パートナーズ、東京都品川区)は、2019年の半導体装置メーカー売り上げランキング(速報値)を発表した。19年の上位15社の売上高は4%減の640億ドルとなり、18年の2桁成長から一転してマイナスとなった。メモリー市場の低迷で、メモリーメーカーの設備投資が減少したことが影響した。 AMATが19年も首位を堅持 この速報値は、世界の半導体装置メーカー約350社を対象にした調査結果。売り上げの定義は、19年1~12月までの半導体製造装置の売上高を集計したもので、サービス・サポートの売り上げを含むが、OEMの装置売り上げや販売代理業務に該当する装置は含まない。為替レートは、18年が110. ASMLホールディング【ASML】半導体露光装置で圧倒的シェアでEUVに期待. 4円、19年が109.

再起不能と評されたニコンに「劇的大復活」がありえる理由 |ビジネス+It

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前工程ではウェハにトランジスタを書いていきます。 下の図のように様々な前工程の中でも様々な工程を進めていきます。 このブログではいくつかの工程を抜選してそこで活躍している企業をご紹介していきます。 ウェハ作製 … 信越化学、SUMCO (日本) 信越化学のシェアは30%を超えていて、リーディングプレイヤーとなっています。 酸化膜…東京エレクトロン、日立国際 (日本) 東京エレクトロンが半分以上のシェアをもっています。 日立国際に関しては、AMATに買収される可能性が高い企業です。 洗浄…SCREEN、東京エレクトロン (日本) 洗浄は上の工程の間に入ってくる作業工程です。 京都のSCREENという会社が非常に強いです。 そしていよいよ露光工程!ここで強い企業は?! 露光装置…ASML (アメリカ) 、ニコン (日本) ASMLがシェアが9割ほどあり独走状態です。 レジスト (ウェハの上に感光剤をのせる処理) …JSR、東京応化、信越化学 (日本) シェアはみんなで分け合っている感じですが、 EUVに関しては、東京応化が抜きんでてる感じがします。 コーターデベロッパー (レジストを塗布する機械) …東京エレクトロン (日本) 東京エレクトロンが9割程度のダントツトップです。 光源…ギガフォトン(コマツの子会社)、サイマー(ASMLの子会社) そして露光装置のあとのパターニング形成まで来ました〜! パターニング形成は、複雑で似たような作業を何度も繰り返していくような工程です。 上図真ん中あたりの エッチング …特定の層を取り除く(実際は洗浄するに近いですが)作業です。特に3D-NANDの需要が増えると爆増するような工程です。 エッチング…東京エレクトロン (日本) 、ラムリサーチ (アメリカ) この2社がとても強いです。トップを取り合う関係性です。 イオン注入(ドーピング)…アプライドマテリアルズ (アメリカ) ほぼ独占的なシェアをが独占的なシェアを持っています。 成膜…アプライドマテリアルズ、ラムリサーチ (アメリカ) CMP…アプライドマテリアルズ、荏原製作所 (日本) 日本の荏原製作所も3〜4割程度シェアをもっています。 欠陥検査・計測…KLAテンコール (アメリカ) これはそれぞれの工程でしっかりとパターンが形成されているかという欠陥検査が必要になってきます。そこでかなり強いのがKLAです。 金属膜を形成して、配線工程に入りますよー!

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