ドライエッチングに抜かれた露光装置市場 2015年以降、メモリ市場が爆発的に成長するとともに、それまで最大規模を誇っていた露光装置市場は、ドライエッチング装置市場に1位の座を奪われた(拙著記事 『米中・日韓貿易戦争で、中国・韓国勢が躍進の兆し…半導体製造装置市場で』 、2019年10月15日)。 その露光装置市場では、オランダのASMLが圧倒的な強みを誇っていると思い込んでいた。ところが、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArFドライ(193nm)、ArF液浸(193nm)、EUV(13. 5nm)の各露光装置について、2019年の出荷額および企業別シェアを調べてみたところ、「ASMLが圧倒的」と一括りにして言うことはできないことがわかった(カッコ内は光源波長)。 なお、光源波長が短いほど、微細なパターンが形成できる上、露光装置の価格も高い。たとえば、i線が約4億円、KrFが約13億円、ArFドライが約20億円、ArF液浸が約60億円、EUVが約200憶円といわれている。現在ロケットの打ち上げ費用が約100憶円で、最先端露光装置のEUVはそれよりはるかに高額である。 本稿では、まず各露光装置における企業別の出荷額シェアを分析することにより、すべての露光装置においてASMLが圧倒的というわけではなく、ニコン、キヤノン、米Veecoがうまく棲み分けていることを示す。次に、地域別の露光装置市場の分析から、各国の 半導体 市場の動向がおおよそ把握できることを論じる。その上で、2020年には再び露光装置がドライエッチング装置を抜いて、市場規模1位に返り咲くという推論を述べる。 露光装置をめぐる企業の攻防と棲み分け 図1に、各露光装置および全露光装置市場における出荷額と企業別シェアを示す。2019年の露光装置全体の出荷額は9060憶円と予測されている。その企業別シェアは、ASML(81. 旧日立系の半導体製造装置メーカー買収、SCREEN社長が「チャンスがあれば検討」｜ニュースイッチ by 日刊工業新聞社. 2%)、 ニコン (5. 9%)、キヤノン(11%)、米Veeco(1. 9%)となっており、ASMLが圧倒的である。 ASMLは、2019年に市場規模が最大となる最先端露光装置EUVを唯一製造できる企業である上に、EUVに次いで市場規模の大きなArF液浸も94. 3%と圧倒的なシェアを占めている。つまりASMLは、最先端かつ市場規模の大きなEUVとArF液浸のシェアを独占しているために、全体のシェアが圧倒的なのだ。
前工程ではウェハにトランジスタを書いていきます。 下の図のように様々な前工程の中でも様々な工程を進めていきます。 このブログではいくつかの工程を抜選してそこで活躍している企業をご紹介していきます。 ウェハ作製 … 信越化学、SUMCO (日本) 信越化学のシェアは30%を超えていて、リーディングプレイヤーとなっています。 酸化膜…東京エレクトロン、日立国際 (日本) 東京エレクトロンが半分以上のシェアをもっています。 日立国際に関しては、AMATに買収される可能性が高い企業です。 洗浄…SCREEN、東京エレクトロン (日本) 洗浄は上の工程の間に入ってくる作業工程です。 京都のSCREENという会社が非常に強いです。 そしていよいよ露光工程!ここで強い企業は?! 露光装置…ASML (アメリカ) 、ニコン (日本) ASMLがシェアが9割ほどあり独走状態です。 レジスト (ウェハの上に感光剤をのせる処理) …JSR、東京応化、信越化学 (日本) シェアはみんなで分け合っている感じですが、 EUVに関しては、東京応化が抜きんでてる感じがします。 コーターデベロッパー (レジストを塗布する機械) …東京エレクトロン (日本) 東京エレクトロンが9割程度のダントツトップです。 光源…ギガフォトン(コマツの子会社)、サイマー(ASMLの子会社) そして露光装置のあとのパターニング形成まで来ました〜! パターニング形成は、複雑で似たような作業を何度も繰り返していくような工程です。 上図真ん中あたりの エッチング …特定の層を取り除く(実際は洗浄するに近いですが)作業です。特に3D-NANDの需要が増えると爆増するような工程です。 エッチング…東京エレクトロン (日本) 、ラムリサーチ (アメリカ) この2社がとても強いです。トップを取り合う関係性です。 イオン注入(ドーピング)…アプライドマテリアルズ (アメリカ) ほぼ独占的なシェアをが独占的なシェアを持っています。 成膜…アプライドマテリアルズ、ラムリサーチ (アメリカ) CMP…アプライドマテリアルズ、荏原製作所 (日本) 日本の荏原製作所も3〜4割程度シェアをもっています。 欠陥検査・計測…KLAテンコール (アメリカ) これはそれぞれの工程でしっかりとパターンが形成されているかという欠陥検査が必要になってきます。そこでかなり強いのがKLAです。 金属膜を形成して、配線工程に入りますよー!
インテル、サムスン、TSMCが1社独占を許してでもEUV露光(Extreme Ultra-Violet:極端紫外線)の研究開発を支援する理由は、ArF液浸露光+マルチパターニングの組み合わせでは微細化に対する製造コスト増がスケール面で懸念(露光の回数を増やすしかない)されており、10nmまではともかく7nm以降の微細化はコスト面からEUV露光技術で行くしかないのではという焦りだ。 ASMLのロードマップでは現行のArF液浸露光に対し、7nm世代以降ではEUVの微細化にフォーカスしていることが示されている。 ASMLの業績と決算 高利益率のバリューチェーンの重要なポジションを確立しているASMLを定点観測し、決算時など随時更新していく。 まだ続いているIT革命のバリューチェーン(半導体視点) — アメリカ部/米国株投資アンテナ (@america_kabu) November 27, 2017 ASMLの業績推移グラフ 自社株買いと配当を合わせた株主還元。ASMLの決算を時系列でまとめる < ASML 2018/Q3決算 > 2018/10/17 EPS €1. 60 売上 €2. 78B ASMLホールディング決算 ASML Holding (NASDAQ:ASML) Q3 EPS €1. 60 売上 €2. 78B 半導体露光装置で圧倒的シェアでEUVが期待されている IR PDF: Graph Source: — 米国株 決算マン (@KessanMan) October 17, 2018 < ASML 2018/Q2決算 > 2018/7/18 EPS €1. 37 売上 €2. 74B (+30. 4% Y/Y) ASMLホールディング決算 (NASDAQ:ASML) Q2 EPS €1. 37 売上 €2. 4% Y/Y) Q3売上ガイダンス € 2. 7~2. 8B(コンセンサス€2. 71) (内EUV € 500M) 半導体露光装置世界最大手、ムーアの法則を維持するためのEUV(極端紫外線)に注目。 — 米国株 決算マン (@KessanMan) July 18, 2018 < ASML 2018/Q1決算 > 2018/4/18 EPS €1. 26 売上 €2. 29B (+18. 0% Y/Y) ASML決算 ASML Holding (NASDAQ:ASML) Q1 EPS €1.
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足りなくなったので、ネットで二つ購入したら左でした😔。まあ、値段が安かったからしょうがない。皆さんはアタ製品を買うとき、しっかり網目の細やかさをチェックしてくださいね。 Filed under: 趣味 、 家のコト 、 思うこと 、 旅行 、 未分類 | Leave a comment » 初レジゴー Posted on 2020年8月8日 by モガ 初めてスーパーでレジゴーを使ってみました。これは自分で品物をスキャンすることで購入したことになるのですが、途中でスキャンするのを忘れてどんどんカゴに入れており、危うく万引き犯(!? )になりそうでした。お会計はスキャンしたものの費用をお支払うだけなのでレジに並ぶこともなく簡単でした。しかし、きっと私みたいな人がいるので、出口で品数を照合する方がいた方が良いのではないかなと心配になりました。 レジに並ぶことなく、とても簡単でした😃 Filed under: 買い物 、 東京散策 | Leave a comment » 西瓜を丸ごと食べ尽くせ Posted on 2020年8月2日 by モガ 10キロ超えの大きな西瓜を丸ごと頂きました🍉。果肉はいつでも食べられるように一口大にカットしてタッパーに入れました。あとは白い部分をどう調理するでした🤔。 今回はキンピラのように炒めたのと、干瓢のように炒め煮したのと、冬瓜のように海老と枝豆のスープにしてみました。残りは塩麹で漬け物にしています。 炒め煮はスイカの甘い部分があったので、砂糖をいれないで丁度よい塩梅でした。 ゴミも少なくなり、良い感じ!まだまだ西瓜があるので、しばらくステイホームを楽しめます😊 Filed under: おうちごはん 、 節約・エコ 、 食べ物 、 趣味 | Leave a comment »
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