1mT〔ミリ・テスラ〕) 3)比透磁率と残留応力の影響 先にも述べたように、比透磁率や残留応力は連続的に容易に測定できるものではなく、実機ロータに対して測定することは現実的ではありません。 しかし、エレクトリカルランナウトの大きな要因として比透磁率と残留応力の影響が考えられるため、ここでは、試験ロータによる試験結果を基にその影響の概要を説明します。 まず、図12は、試験ロータの各測定点における比透磁率と変位計の出力電圧の相関を示したものです。 ここで相関係数:γ=0. 渦電流式変位センサ 価格. 93と大きな相関を示しており、比透磁率のむらがエレクトリカルランナウトに影響していることが分かります。 次に、図13は、試験ロータの各測定点における残留応力のばらつきと変位計出力電圧の変化量の関係を示したものです。 ここでも相関係数:γ=0. 96と大きな相関を示しており、残留応力のばらつきがエレクトリカルランナウトに影響していることが分かります。 さらに、ここでエレクトリカルランナウトの主要因と考えられる比透磁率と残留応力は図14に示すように比較的大きな相関を示すことが分かります。 また、これらの試験より、ターゲットの表面粗さが小さいほど、比透磁率と残留応力のバラつきが小さくなるという結果を得ています。 これらの結果より、「表面粗さを小さく仕上げる」⇒「比透磁率と残留応力のバラつきが小さくなる」⇒「エレクトリカルランナウトを小さく抑える」という関係が言えそうです。 ただし、十分に表面仕上げを実施し、エレクトリカルランナウトを規定値以内に抑えたロータであっても、その後残留応力のばらつきを生じるような部分的な衝撃や圧力を与えた場合には、再びランナウトが生じることがあります。 4)エレクトリカルランナウトの各要因に対する許容値 API 670規格(4th Edition)の6. 3項では、エレクトリカルランナウトとメカニカルランナウトの合成した値が最大許容振動振幅の25%または6μmのどちらか大きい方を超えてはならないと規定しています。 また、現実的にはランナウトを実測して上記許容値を超えるような場合には、脱磁やダイヤモンド・バニシング処理などにより結果を抑えるように規定しています。 ただし、脱磁は上記の「許容残留磁気」の項目でも述べたように、現実的にはその効果はあまり期待できないと考えられます。 一方、ダイヤモンドバニシングに関しては、機械的に表面状態を綺麗に仕上げるというだけでなく、ターゲット表面の比透磁率と残留応力の均一化の効果も期待できるため、これによりエレクトリカルランナウトを減少させることが考えられます。 5)渦電流式変位センサにおける磁束の浸透深さ ターゲット表面における渦電流の電流密度を J0[A/m2]とし、ある深さ x[m]における渦電流の電流密度を J[A/m2]とすると、J=J0・e-x/δとなり、δを磁束の浸透深さと呼びます。 ここで、磁束の浸透深さとは渦電流の電流密度がターゲット表面の36.
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一言にセンサといっても、多種多様であり、それぞれに得意・不得意があります。この章では、渦電流式変位センサについて詳しく解説します。 渦電流式変位センサとは 渦電流式変位センサの検出原理 渦電流式変位センサとは、 高周波磁界を利用し、距離を測定する センサです。 センサヘッド内部のコイルに高周波電流を流して、高周波磁界を発生させます。 この磁界内に測定対象物(金属)があると、電磁誘導作用によって、対象物表面に磁束の通過と垂直方向の渦電流が流れ、センサコイルのインピーダンスが変化します。渦電流式変位センサは、この現象による発振状態(=発振振幅)の変化により、距離を測定します。 キーエンスの渦電流式変位センサの詳細はこちら 発振振幅の検出方法をキーエンスの商品を例に説明します。 EX-V、ASシリーズ 対象物とセンサヘッドの距離が近づくにつれ過電流損が大きくなり、それに伴い発振振幅が小さくなります。この発振振幅を整流して直流電圧の変化としています。 整流された信号と距離とは、ほぼ比例関係ですが、リニアライズ回路で直線性の補正をし、距離に比例したリニアな出力を得ています。 アナログ電圧出力 センサとは トップへ戻る
渦電流プローブのスポットサイズ 渦電流センサーは、プローブの端を完全に囲む磁場を使用します。 これにより、比較的大きな検出フィールドが作成され、スポットサイズがプローブの検出コイル直径の約4倍になります(図1)。 渦電流センサーの場合、検知範囲と検知コイルの直径の比は3:500です。 つまり、範囲のすべての単位で、コイルの直径は1500倍大きくなければなりません。 この場合、同じ1. 5µmの検知範囲で必要なのは、直径XNUMXµm(XNUMXmm)の渦電流センサーだけです。 検知技術を選択するときは、目標サイズを考慮してください。 ターゲットが小さい場合、静電容量センシングが必要になる場合があります。 ターゲットをセンサーのスポットサイズよりも小さくする必要がある場合は、固有の測定誤差を特別なキャリブレーションで補正できる場合があります。 センシング技術 静電容量センサーと渦電流センサーは、さまざまな手法を使用してターゲットの位置を決定します。 精密変位測定に使用される静電容量センサーは、通常500 kHz〜1MHzの高周波電界を使用します。 電界は、検出素子の表面から放出されます。 検出フィールドをターゲットに集中させるために、ガードリングは、検出要素のフィールドをターゲット以外のすべてから分離する、別個の同一の電界を作成します(図5)。 図5.
2」)とは別のアプローチによる、より詳しい原理説明を試みてみましたが、決して簡単な説明とはならなかったことをお許しください。 次回は、同じ渦電流式変位センサでもキャリアの励磁方式による違い、さらに今回の最後のところで、渦電流式変位センサの特徴を簡単に述べましたが、次回から取扱上の注意点にもつながる具体的な説明を行ないます。
"アンリシャルパンティエ" 44アイテム HENRI CHARPENTIER/アンリ・シャルパンティエ ご登録済みのお客さま はじめてのお客さま・ 会員登録されていないお客さま 会員登録(無料)をされるとお気に入りに追加できます。 「新規会員登録」ボタンをクリックしてください。 ご登録のメールアドレスとパスワードでログインすることで、 ショッピングをご利用いただけます。
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