質問日時: 2006/09/12 17:07 回答数: 1 件 今度、シリコンウエハーに試料をつけてFTIRで分析したいと考えております。 そこで問題となってくるのがシリコンウエハーの赤外線の透過率です。 シリコンウエハーの厚さごとの赤外線透過率を知りたいのですが、良い文献はないものでしょうか?? もしくは、どの程度の厚さで赤外は透過したなどの漠然とした情報でも構いません。 宜しくお願いします。 No. 1 ベストアンサー 回答者: leo-ultra 回答日時: 2006/09/12 17:36 シリコンウェハーの伝導度にすごく透過率が依存します。 キャリヤ吸収! 厚さ0. 5mmのp型Siで、波数4000-400cm-1の範囲で、 20Ωcmのものは、大よそ50%透過します。 反射も50%くらいなので、Siウェハーによる吸収はほぼゼロです。 ただし、CやO不純物の吸収がある領域では透過率が下がります。 一方、同じ厚さでも0. 02Ωcmのものは、3000cm-1以下で透過率が0. 5%以下です。 これは2004年のVacuumの論文に載っていました。 0 件 この回答へのお礼 ご回答ありがとうございます。 伝導度が透過率に依存する事は知りませんでした・・・。 勉強不足でお恥ずかしい限りです。 参考にさせていただきます。 お礼日時:2006/09/28 15:40 お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて! 放射温度計でシリコンの温度は測定できますか？ | ジャパンセンサー株式会社. gooで質問しましょう! このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています
ご案内 ▶可視光の一部が透過するZnSeの赤外用窓板もご用意しています。 W3152 ▶サイズやウェッジ加工などカタログ記載品以外の製作も承ります。 注意 ▶シリコン窓板は金属光沢していて、可視光は反射及び吸収され透過しません。 ▶シリコン窓板は表面反射(1面につき27%〔測定値〕)による損失があるので透過率は約53%になります。 共通仕様 材質 シリコン単結晶 平行度 <3′ スクラッチ-ディグ 40−20 有効径 外径の90% 外形図 ズーム 機能説明図 物理特性 透過率波長特性(参考データ) T:透過率
概要 光学的な膜厚計測は、誘電体膜や半導体膜と様々な物性の膜に適応可能であり、サブnmから数µmの膜厚までの広い計測範囲を持つという優れた特長があります。さらに、非破壊・非接触で計測できることから広く用いられています。それぞれの膜圧測定、解析方法と解析方法には原理上の違いがあるので、予測される膜厚・膜の層数や膜と基板の材質に合わせて、適切に選択することが重要です。 エリプソメトリ×多層膜解析法による膜厚計測(1~数100nm) 偏光状態の変化とΔΨの関係 エリプソメトリは、反射光の偏光状態の変化からΔ、Ψを求めます。偏光状態は測定波長よりも極めて薄い膜においても変化するため、可視光によって数nmの膜厚から測定することが可能です。Si基板上の自然酸化膜は1. 79nmと評価されています。 4インチSiウェーハ上のシリコン窒化膜厚分布 右図は、4インチSiウェーハ上のシリコン窒化膜の膜厚分布を測定した例です。平均膜厚は90. 2nm、平均屈折率は2.
かなり難しい質問ですが、シリコンウェハーが赤外線を透過する訳をご存知の方いらっしゃいますか?ライトなどでウェハーを照らすと可視光線は、反射しますが、赤外線は透過しますが、原理はわかりません。 補足 kamua08さん早速のご回答ありがとうございます。 単結晶のSiだと結晶配列が規則正しく並んでいる事は理解しておりますが ご説明頂いた「特定の波長」(赤外線と理解しますが)は透過する事が出来るのは 波長のみで決まるのでしょうか? もっと波長が長い遠赤外線や電波なども透過するのでしょうか? ColorPol® VIS ポラライザ . またご説明頂いた「規則正しい配列に沿った光」とはどのようなものなのでしょうか? 質問が多く申し訳ございませんが、ご教授願います。 バンド ・ 11, 538 閲覧 ・ xmlns="> 100 赤外線がシリコンウェハーを透過する理由は、Siのバンドギャップが1. 2eV程度であり、そのエネルギに対応する波長1um程度より短い波長の光は、格子振動の運動量を借りて、価電子帯の電子を伝導帯にたたき上げることで、Siに吸収されてしまうからです。それより長い波長の光は吸収されにくいのですが、それでも微妙に吸収されます。確か波長2umくらいのところに極めてSiに吸収されにくい波長帯があり、最近注目されています。 1人 がナイス!しています ThanksImg 質問者からのお礼コメント 丁寧なご説明ありがとうございました。 お礼日時: 2009/1/21 13:10 その他の回答(1件) 単純に言うと、ハイブリッド型シリコンレーザーです。 シリコンは特定の波長の光のみを透過します。原理は、元素の配列により、特定の波長の光だけがすり抜けることができ、それ以外の光が阻止されてしまうわけです。 シリコンウェハーは単一結晶なので、元素の配列が規則正しくなっています。つまり、規則正しい配列に添った光ならすり抜けられますが、波長が異なると原子にぶつかりすり抜けられないというわけ。 同じシリコンでも多結晶ならこのようなことは起こらないです。 特定の波長だけ通過するので通過した光がレーザー光というわけ。 同様の原理の物に、ルビーレーザーなどがあります。
7~3. 0µm、中赤外線:3~8µm、遠赤外線:8~15µmとします。 人感センサー用フィルター 全ての物体からは必ず赤外線が放射されており、物体の温度によってその放射量は決まります。例えば37℃程度の人間の体温では、約9~10µmに最大放射量を持つ赤外線が放射されています。9~10µmの赤外線を効率良く透過させるフィルターを焦電素子を組み合わせることで人感センサーとして利用されています。 DLC膜 屋外で使用されるセンサーには耐環境性が要求されますが、フィルターも同様に高硬度や耐摩耗性、耐湿性、耐腐食性など要求されます。この要求に対し開発されたのがダイヤモンドライクカーボン膜(DLC/Diamond Like Carbon)です。従来、工具の寿命を改善する為の表面処理技術の1つでしたが、赤外線の透過性能が改善されたことで光学フィルターとして利用できるようになりました。DLC膜の屈折率が2~2. 4であり、赤外線用の基板で使用されるゲルマニウムやシリコンに対する反射防止膜の材料としても活用できます。赤外線カメラを海岸や高速道路などの過酷な環境で利用する場合、外界に接する面にDLC膜を施し反対面にブロードな反射防止膜を施した赤外線ウインドウを使用します。 ガス検出用フィルター 赤外線帯域では様々なガスの固有吸収スペクトルがあります。この固有吸収スペクトルにおける吸光度の極大波長吸収量を測定することによって成分の特定や濃度など分析ができます。この方式を赤外線吸収分析法と呼び、極大波長のみを効率的に透過させるバンドパスフィルターが利用されます。例えば二酸化炭素は4. 26µm付近が極大波長です。二酸化炭素を検出するセンサーには4.
「ミサワホームで家を建てるなら、蔵のある家にしないと意味がない!」 とまで言われているほど、ミサワホームの「蔵」は好評価されています。 でも、そもそも「蔵」ってどんなもの?設置することでどんなメリットがあるのでしょうか。 「蔵」の原点や、人気の「蔵のある家」のメリットについてまとめました。 みなさんは本物の「蔵」に入ったことがありますか? 夏でもひんやりしていて、ちょっとカビ臭かったり・・・。 古い建物には蔵がついているケースが多いですが、一体どんな目的で使われていたのでしょうか? 蔵のある家は普通の家とどう違うの? 「蔵のある家」と聞いて、みなさんはどんな家を思い浮かべますか? 「蔵」とは、一言で言うと家財道具をしまっておく場所、いわゆる「保管庫」のことです。 正式には、土壁の外壁を漆喰で仕上げた建物で、歴史は中世に遡ると言われています。 かつては、商品や農作物の保管、そして食料の備蓄を目的に使われていたそうですよ。 今でも、武家屋敷など歴史的な建造物が残る観光地では「蔵のある家」をよく見かけます。 ただ、現代で「蔵のある家」と言った場合は、 昔ながらの「蔵」があるわけではなく、家の中に大きな収納スペースを備えている家を意味します。 いろんなメーカーが手掛けていますが、特に有名なのはミサワホームのプラン。 天井高が「1. 4m」のタイプと「1. 1m」のタイプがあり、面積は設置階の床面積の半分以下。 この条件なら床面積には算入されませんので、居室とは別にたっぷりと収納空間を設けられる!という点が最大のメリットです。(一見、居室としても使えそうに見えますが、法律的には居室としては使えないことになっています。) 具体的にはこんなメリットがあります! ミサワホームの蔵のある家。間取りのメリット、デメリットを考えてみた｜ともくらし. 普通に考えれば、収納スペースをたっぷり確保しようとするなら居室部分を削るしかありませんよね。 しかし、 蔵のある家であれば居室に割く面積を削らずに収納空間を増やすことができるのです! どういうことかというと、蔵空間の上のスキップ空間を部屋として活用することができたり、階段の踊り場(1階と2階の中間)に蔵を設けたりできるので、実質的には部屋の面積を減らす必要がないのです。 他にも、蔵のある家にはメリットがいっぱい! ここでは、 公式サイトでアピールされている10のメリット を簡単にまとめてみました。 収納力があるので、部屋に物が散乱しない!狭小住宅でも広々、伸び伸び暮らせる。 水平収納なので物の出し入れが楽チン。キャスターつきの物ならなおさら移動が簡単。 蔵をつけた分だけ天井を高くできるため、見た目に開放感がある。(1階なら3.
5階に蔵が存在している場合が多く、1階から2階に向かうための階段の中腹に蔵への入り口がある場合は一般的です。 1階と2階の間に空間を作るため、外見が他の2階建ての住宅より高くなることが多いです。 蔵のある家の価値相場は?
我が家はミサワホームの蔵のある家を採用しました。 「ミサワの『蔵のある家』を作る予定だよ」と言うと、聞いた人は白壁のどっしりとした蔵を思い浮かべるようで「蔵作るの!