洗浄の原理は?
4 水の中の気体量 温度(25,65℃),濃度(8. 5ppm,12ppm)で750kHzの周波数で,超音波洗浄したデータを 図5 に示す。微粒子としては,シリカ系スラリーパーティクルをスピンコートし,乾燥させている。12ppmの気体量であれば,25℃の洗浄結果と65℃の洗浄結果もさほど変わらない。65℃で気体量を変化させた場合8. 5ppmでは,12ppmに比べ,洗浄性能が29%ほど低下する。このことから,温度よりも溶存気体量が対する洗浄性に寄与する割合が大きいと考えられる。 図5 投入電力における微粒子洗浄率 温度25℃,65℃ 溶存窒素量8. 5ppm,12ppm おわりに 超音波は,環境条件によって大きく洗浄性を変化させる。よって,超音波そのものを変更するより前に,その環境条件をいかに安定させるかが大切である。ここでは触れなかったが,水の中の気体種も洗浄に大きな影響を及ぼす。 〈参考文献〉 *1 北原文雄,古澤邦夫,尾崎正孝,大島広行:ゼータ電位,p. 102(1995),(サイエンティスト社) *2 飯田康夫:「ソノプロセスの話―超音波の化学工業利用」,p. 7-22(2006),日本工業出版 *3 H. Morita, J. ISO16232／VDA19 - 株式会社インテクノス・ジャパン株式会社インテクノス・ジャパン. Ida,, K. Tsukamoto and T. Ohmi:Proc. of Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces 2000, pp. 245-250(2000).
1 (W/cm)程度の強さまでの超音波であれば、超音波による加熱作用も問題ないとされる また、血流のように動きのある物に対しては ドップラー効果 を利用して、動いている方向を調べることも行われる。これを利用して、例えば、心臓の拍出量を調べたり、血流の逆流が無いかを調べたりすることができる。 特徴 基本的に 超音波 は 液体 ・ 固体 がよく伝わり、 気体 は伝わりにくい。そのため、液状成分や軟体の描出に優れており、実質臓器の描出能が高く、 肺 ・消化管の描出能は低い。また、 骨 は表面での反射が強く骨表面などの観察に留まる。
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赤坂 鳥幸 [東京ガーデンテラス紀尾井町] - YouTube
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